设备介绍:光学表面粗糙度测量仪

如题所述

光学表面粗糙度测量仪的革新之作</


走进 Bruker alicona 的无限焦点G6</


Bruker alicona 的InfiniteFocus G6是一款集精确性、速度和一体化设计于一体的三维形貌与粗糙度测量设备,它在微米到纳米的公差范围内展现出卓越的测量能力。这款仪器以面积测量为基石,确保了高度分辨率,无论面对何种尺寸、材料、几何形状、重量和表面处理,都能保持一致性。它尤其擅长处理陡峭侧面、复杂反射和结构粗糙度的工件,对光滑表面的高分辨率检测更是得心应手。凭借Real3D技术,它能实现全方位的微观几何结构扫描,生成详尽的3D数据,而垂直聚焦技术则可轻松应对小孔与垂直侧面的测量,支持Ra、Rq、Rz/Sa、Sq、Sz等关键参数的评估。


技术参数亮点</



    卓越测量能力</: 单点测量可达2160x2160,图像区域测量甚至可达5亿点,提供无比细腻的细节呈现。
    广阔测量范围</: X、Y、Z轴的位移范围分别为200mmx200mmx180mm,空间覆盖广,适应多种工件尺寸。
    灵活旋转平台</: 高级360°电动旋转和90°电动倾斜台,为复杂角度测量提供强大支持。
    斜面测量突破</: 通过升级无限变焦与垂直聚焦技术,可测量角度高达87°,甚至超过90°,确保全面覆盖。
    样品高度限制</: 样品高度上限高达315mm,可根据需求进一步提升,满足多样化的测量需求。
    精细分辨率</: 最小测量线粗糙度Ra可达0.03um,面粗糙度Sa低至0.015um,半径测量最小值1um,垂直分辨率更是精确到10nm,展现仪器的精密特质。

这款InfiniteFocus G6光学表面粗糙度测量仪,是半导体工程师手中不可或缺的工具,它不仅提供了高效的测量解决方案,也为优化工艺过程,提升产品质量提供了强有力的支持。在半导体行业,无论是科研开发、质量控制还是生产优化,都是提升竞争力的重要一环。通过这款仪器,我们看到了科技的力量如何推动行业的进步。

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