第1个回答 2024-02-28
测量表面粗糙度可以用时下热门的纳米级测量仪器-光学3D表面轮廓仪、激光共聚焦显微镜。
1、光学3D表面轮廓仪（光学，非接触式）
光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术原理，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
中图光学3D表面轮廓仪
2、激光共聚焦显微镜（光学，非接触式）
激光共聚焦显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法共同组成测量系统，能用于各种精密器件及材料表面的非接触式微纳米测量。能测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。
激光共聚焦显微镜
第2个回答 2024-03-13
表面粗糙度可以使用白光干涉仪AM-7000来进行测量，以压电陶瓷为驱动，精度可达亚纳米级，能对物体表面的粗糙度/光洁度/洁净度、轮廓、微观三维形貌、PV值、台阶、高度、平面度、盲孔等进行高精度测量。
白光干涉仪的原理是白光干涉，两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源能产生光干涉。以下是测量超光滑镜面表面粗糙度的检测案例：
超光滑表面粗糙度测量
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