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硅集成电路制造工艺主要由哪几个工序组成
如题所述
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推荐答案 2015-07-13
每本书讲的不太一样。
一般来说 增层（氧化）、刻蚀、掺杂、热处理。
工艺细节可以搜索半导体工艺制造流程。
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