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集成电路中的设备区与工艺区是什么意思
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推荐答案 2017-06-05
为什么集成电路厂房内光刻区域的照明灯光与其他工艺区域不同?
光刻是利用一种叫光阻剂的材料通过曝光显影来完成的,这种光阻剂只有在黄色是管线下才不会被曝光,当需要曝光的时候会在一台专门的设备里曝光!
对超净室中的洁净程度是如何定义和分级的?
等级分为万级,千级,百级,十级,比如说万级就是1立方空间里要小于等于10000颗尘埃
具体怎么选用那要看工艺要求
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为
什么集成电路
厂房内光刻区域的照明灯光与其他
工艺
区域不同?对超净...
答:
为
什么集成电路
厂房内光刻区域的照明灯光与其他
工艺
区域不同?答:光刻是利用一种叫光阻剂的材料通过曝光显影来完成的,这种光阻剂只有在黄色是管线下才不会被曝光,当需要曝光的时候会在一台专门
的设备
里曝光!对超净室中的洁净程度是如何定义和分级的?答:等级分为万级,千级,百级,十级,比如说...
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