白光干涉仪又称为光学3D表面轮廓仪，由LED光源、干涉物镜、压电陶瓷、XY位移平台几个关键组成部分构成，光学显微干涉测量的原理是：光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。在纳米级和亚纳米级超精密加工领域，除了白光干涉仪，其它的仪器无法达到其精度要求。
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第1个回答 2024-01-11
白光干涉仪一般由光源，分束器，参考光路和待测光路组成。光源是产生白光的装置，常用的光源包括白炽灯，氘灯等。分束器用于将光源的光分为两束，一束作为参考光线，一束经过待测物体后成为待测光线。
参考光路是一条固定的光路，它包括准直透镜，分光镜，反射镜等。参考光路的作用是将参考光线聚集到干涉仪的接受屏上，并形成一系列的干涉条纹。
待测光路是一条可调节的光路，它包括反射镜，透镜，样品台等。待测光路的作用是将待测光线聚集到干涉仪的接受屏上，并与参考光线发生干涉，形成干涉条纹。通过调节待测光路的参数，如移动反射镜或样品台，可以改变干涉条纹的形态，从而实现对待测物体的测量。
参考光路是一条固定的光路，它包括准直透镜，分光镜，反射镜等。参考光路的作用是将参考光线聚集到干涉仪的接受屏上，并形成一系列的干涉条纹。
待测光路是一条可调节的光路，它包括反射镜，透镜，样品台等。待测光路的作用是将待测光线聚集到干涉仪的接受屏上，并与参考光线发生干涉，形成干涉条纹。通过调节待测光路的参数，如移动反射镜或样品台，可以改变干涉条纹的形态，从而实现对待测物体的测量。
第2个回答 2008-08-01
是什么啊,太专业了,建议你到新华书店找书好好看看吧哥们本回答被提问者采纳
第3个回答 2008-08-01
哇!楼上的好强哦~强人啊~
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