白光干涉仪和扫描电镜的区别

Question

如题所述

Answer 1

白光干涉仪和扫描电镜在测量原理和应用方面存在显著差异。

一、测量原理：

白光干涉仪是一种精密测量仪器，能对物体表面的粗糙度/光洁度/洁净度、轮廓、微观三维形貌、PV值、台阶、高度、平面度、盲孔等进行高精度测量。白光干涉仪的原理是光干涉，两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源能产生光干涉。当仪器扫过点A和点B时，点A和点B的干涉条纹高度峰值之间的差即为A、B两点的高度差。

白光干涉仪AM系列

扫描电镜则是一种利用电子束扫描样品表面并检测二次电子等信号的显微镜。扫描电镜的原理是电子束与样品相互作用后，产生的二次电子等信号被检测器捕获，进一步形成样品表面的图像。

二、应用方面：

白光干涉仪是偏测量作用的仪器，扫描电镜是偏观察作用的仪器。

白光干涉仪通过分析干涉条纹，可以得到被测物体表面的微观三维形貌、台阶高度、表面粗糙度、曲率、面型、平面度等参数信息。它应用的行业很广泛，可应用于新能源、半导体、精密加工、精密光学、航空航天、3C产品、材料、液晶等领域。

微透镜矩阵粗糙度、曲率半径、面型测量

扫描电镜通常用于观察样品表面的微观结构和形貌，适用于观察材料的晶体结构、表面缺陷等。

Answer 2

观测物品不同。
白光干涉仪用于测量三维微观形貌。扫描电镜用于观察纳米材料。
扫描电子显微镜SEM是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器，目前，扫描电子显微镜已被广泛应用于生命科学、物理学、化学、司法、地球科学、材料学以及工业生产等领域的微观研究，是一种多功能的仪器、具有很多优越的性能、是用途zui为广泛的一种仪器．