1、萌芽（战国）：韩非子法家思想为中央集权政治制度的形成奠定了理论基础，商鞅建立县制。
2、确立（秦朝）：秦统一后，封建君主专制主义中央集权的政治制度建立。政治上，确立皇权的至高无上的皇帝，中央设三公九卿，地方推行郡县制，颁布秦律；在文化上，书同文，焚书坑儒，加强思想控制，又规定以法为教，以吏为师。经济上，实行土地私有制，按亩纲纳税；统一度量衡；统一货币；统一车轨修驰道。
3、巩固（西汉）：①汉武帝颁布“推恩令”，推行“附益之法”，解决王国问题。②“罢黜百家，独尊儒术”加强思想专制。
4、完善（隋唐）：①三省六部制，（隋文帝时创立，唐太宗时完善）三省长官相当于宰相，相互牵制和制约，避免宰相的专权，又一定程度上牵制君主专制，是专制主义中央集权制度的进一步完善。②科举制，（隋文帝采用分科考试的方式选拔官吏，隋炀帝时建立进士科，科举制形成，唐太宗时增加考试科目，武则天时首创武举和殿试，唐玄宗提高科举考试的地位，使门第不高的有才能的人参加到政权中来，扩大了统治阶级的基础。
5、加强（北宋）：集中军权，设枢密院、行更戍法；集中行政权，分割宰相权，派文官担任地主高官，并设通判与之相牵制。集中财政权和司法权，设转运使，集中财权；由中央派文官任地方司法官吏，集中司法权。发展科举制（严格程序；完善方法；增加名额）
6、发展（元朝）：在中央设中书省，是全国最高行政机构。在地方设“行省”，实行行省制度（除河北、山西、山东由中书省直接管理外），其他地方设置行省，密院为中央最高军事管理机关。御史台为最高监察机关；宣政院，统管宗教事务和管理西藏地区。
7、强化衰落（明清）：
（1）明朝，在中央废丞相，权分六部；设五军都督府与兵部相互制约。在地方废行省，设三司，进一步削弱地方势力，还设厂卫特务机构，实行八股取士，这是专制主义强化的突出表现。
（2）清朝，议政王大臣会议（由满族贵族组成，权力凌驾于内阁、六部之上，皇权受到限制。雍正时，名存实亡；乾隆时，撤销。）；增设军机处（雍正时设立，由皇帝挑选亲信的满汉官员充任。职责：跪受笔录，传达皇帝旨意。影响：标志封建君主专制主义中央集权制度发展到顶峰。）；大兴文字狱（目的：压制汉人的民族反抗意识，树立清朝统治的权威，加强中央专制。评价：禁锢了思想，摧残人才，严重阻碍了中国社会的发展和进步），使君权空前加强，形成极端的君主专制统治，专制主义中央集权制达到顶峰
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