1.æç¼ç¡ é
æ²åï¼ç¡ æ¯å°å£³å 第äºä¸°å¯çå ç´ ï¼èè±æ°§åçæ²å(å°¤å ¶æ¯ç³è±)æå¤å å«25ï¼ çç¡ å ç´ ï¼ä»¥äºæ°§åç¡ (SiO2)çå½¢å¼åå¨ï¼è¿ä¹æ¯å导ä½å¶é 产ä¸çåºç¡ã
ç¡ çç¼ï¼12è±å¯¸/300毫米æ¶å级ï¼ä¸åãéè¿å¤æ¥ååå¾å°å¯ç¨äºå导ä½å¶é è´¨éçç¡ ï¼å¦åçµåçº§ç¡ (EGS)ï¼å¹³åæ¯ä¸ç¾ä¸ä¸ªç¡ ååä¸æå¤åªæä¸ä¸ªæè´¨ååãç¡ ååçç¼å¾å°å¤§æ¶ä½ï¼æåå¾å°çå°±æ¯ç¡ é(Ingot)ã
åæ¶ç¡ éï¼æ´ä½åºæ¬ååæ±å½¢ï¼é约100åå ï¼ç¡ 纯度99.9999ï¼ ã
2.åå²æ¶å
ç¡ éåå²ï¼æ¨ªååå²æåå½¢çåä¸ªç¡ çï¼ä¹å°±æ¯æ们常说çæ¶å(Wafer)ã
æ¶åï¼åå²åºçæ¶åç»è¿æå ååå¾å ä¹å®ç¾æ çï¼è¡¨é¢çè³å¯ä»¥å½éåã
3.å å»è¿ç¨
å å»è¶(Photo Resist)ï¼æ¶åæ转è¿ç¨ä¸æµä¸å»çå å»è¶æ¶²ä½ï¼ç±»ä¼¼å¶ä½ä¼ ç»è¶ççé£ç§ãæ¶åæ转å¯ä»¥è®©å å»è¶éºçé常èãé常平ãå å»è¶å±éåéè¿æ©æ¨¡(Mask)被æå å¨ç´«å¤çº¿(UV)ä¹ä¸ï¼åå¾å¯æº¶ï¼æé´åççåå¦ååºç±»ä¼¼æä¸æºæ¢°ç¸æºå¿«é¨é£ä¸å»è¶ççååãæ©æ¨¡ä¸å°çé¢å 设计好ççµè·¯å¾æ¡ï¼ç´«å¤çº¿éè¿å®ç §å¨å å»è¶å±ä¸ï¼å°±ä¼å½¢æå¾®å¤çå¨çæ¯ä¸å±çµè·¯å¾æ¡ãä¸è¬æ¥è¯´ï¼å¨æ¶åä¸å¾å°ççµè·¯å¾æ¡æ¯æ©æ¨¡ä¸å¾æ¡çååä¹ä¸ã
å å»ï¼ç±æ¤è¿å ¥50-200纳米尺寸çæ¶ä½ç®¡çº§å«ãä¸åæ¶åä¸å¯ä»¥åå²åºæ°ç¾ä¸ªå¤çå¨ï¼ä¸è¿ä»è¿éå¼å§æè§é缩å°å°å ¶ä¸ä¸ä¸ªä¸ï¼å±ç¤ºå¦ä½å¶ä½æ¶ä½ç®¡çé¨ä»¶ãæ¶ä½ç®¡ç¸å½äºå¼å ³ï¼æ§å¶ççµæµçæ¹åãç°å¨çæ¶ä½ç®¡å·²ç»å¦æ¤ä¹å°ï¼ä¸ä¸ªé头ä¸å°±è½æ¾ä¸å¤§çº¦3000ä¸ä¸ªã
4.å å»è¶ç使å½
溶解å å»è¶ï¼å å»è¿ç¨ä¸æå å¨ç´«å¤çº¿ä¸çå å»è¶è¢«æº¶è§£æï¼æ¸ é¤åçä¸çå¾æ¡åæ©æ¨¡ä¸çä¸è´ã
èå»ï¼ä½¿ç¨åå¦ç©è´¨æº¶è§£ææ´é²åºæ¥çæ¶åé¨åï¼èå©ä¸çå å»è¶ä¿æ¤çä¸åºè¯¥èå»çé¨åã
æ¸ é¤å å»è¶ï¼èå»å®æåï¼å å»è¶ç使å½å®£åå®æï¼å ¨é¨æ¸ é¤åå°±å¯ä»¥çå°è®¾è®¡å¥½ççµè·¯å¾æ¡ã
5.离åæ³¨å ¥
å å»è¶ï¼å次æµä¸å å»è¶ï¼ç¶åå å»ï¼å¹¶æ´ææå çé¨åï¼å©ä¸çå å»è¶è¿æ¯ç¨æ¥ä¿æ¤ä¸ä¼ç¦»åæ³¨å ¥çé£é¨åææã
离åæ³¨å ¥(Ion Implantation)ï¼å¨ç空系ç»ä¸ï¼ç¨ç»è¿å éçãè¦æºæçååç离åç §å°(æ³¨å ¥)åºä½ææï¼ä»èå¨è¢«æ³¨å ¥çåºåå½¢æç¹æ®çæ³¨å ¥å±ï¼å¹¶æ¹åè¿äºåºåçç¡ ç导çµæ§ãç»è¿çµåºå éåï¼æ³¨å ¥ç离åæµçé度å¯ä»¥è¶ è¿30ä¸åç±³æ¯å°æ¶ã
æ¸ é¤å å»è¶ï¼ç¦»åæ³¨å ¥å®æåï¼å å»è¶ä¹è¢«æ¸ é¤ï¼èæ³¨å ¥åºåä¹å·²æºæï¼æ³¨å ¥äºä¸åçååã
6.çµéæ¶å
æ¶ä½ç®¡å°±ç»ªï¼è³æ¤ï¼æ¶ä½ç®¡å·²ç»åºæ¬å®æãå¨ç»ç¼æä¸èå»åºä¸ä¸ªåæ´ï¼å¹¶å¡«å éï¼ä»¥ä¾¿åå ¶å®æ¶ä½ç®¡äºè¿ã
çµéï¼å¨æ¶åä¸çµéä¸å±ç¡«é ¸éï¼å°é离åæ²æ·å°æ¶ä½ç®¡ä¸ãé离åä¼ä»æ£æ(é³æ)èµ°åè´æ(é´æ)ã
éå±ï¼çµéå®æåï¼é离åæ²ç§¯å¨æ¶å表é¢ï¼å½¢æä¸ä¸ªèèçéå±ã
7.æå å¤ç
æå ï¼å°å¤ä½çéæå æï¼ä¹å°±æ¯ç£¨å æ¶å表é¢ã
éå±å±ï¼æ¶ä½ç®¡çº§å«ï¼å 个æ¶ä½ç®¡çç»åï¼å¤§çº¦500纳米ãå¨ä¸åæ¶ä½ç®¡ä¹é´å½¢æå¤åäºè¿éå±å±ï¼å ·ä½å¸å±åå³äºç¸åºå¤çå¨æéè¦çä¸ååè½æ§ãè¯ç表é¢çèµ·æ¥å¼å¸¸å¹³æ»ï¼ä½äºå®ä¸å¯è½å å«20å¤å±å¤æççµè·¯ï¼æ¾å¤§ä¹åå¯ä»¥çå°æå ¶å¤æççµè·¯ç½ç»ã
8.æ¶ååç
æ¶ååç(Slicing)ï¼æ¶å级å«ï¼300毫米/12è±å¯¸ãå°æ¶ååå²æåï¼æ¯ä¸åå°±æ¯ä¸ä¸ªå¤çå¨çå æ ¸(Die)ã
丢å¼ççµå æ ¸ï¼æ¶å级å«ãæµè¯è¿ç¨ä¸åç°çæççµçå æ ¸è¢«æå¼ï¼çä¸å®å¥½çåå¤è¿å ¥ä¸ä¸æ¥ã
9.å°è£
å°è£ ï¼å°è£ 级å«ï¼20毫米/1è±å¯¸ã衬åº(åºç)ãå æ ¸ãæ£ççå å å¨ä¸èµ·ï¼å°±å½¢æäºç°å¨çå¤çå¨çæ ·åã衬åº(绿è²)ç¸å½äºä¸ä¸ªåºåº§ï¼å¹¶ä¸ºå¤çå¨å æ ¸æä¾çµæ°ä¸æºæ¢°çé¢ï¼ä¾¿äºä¸PCç³»ç»çå ¶å®é¨å交äºãæ£çç(é¶è²)å°±æ¯è´è´£å æ ¸æ£ççäºã
å¤çå¨ï¼è³æ¤å°±å¾å°å®æ´çå¤çå¨äºã
10.æååºç
ç级æµè¯ï¼æåä¸æ¬¡æµè¯ï¼å¯ä»¥é´å«åºæ¯ä¸é¢å¤çå¨çå ³é®ç¹æ§ï¼æ¯å¦æé«é¢çãåèãåçéçï¼å¹¶å³å®å¤çå¨çç级ã
è£ ç®±ï¼æ ¹æ®ç级æµè¯ç»æå°åæ ·çº§å«çå¤çå¨æ¾å¨ä¸èµ·è£ è¿ã
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