1. 芯源微（688037）：被誉为光刻机龙头。2021年第一季度，公司营收同比增长1229.72%，达到1.13亿元。
2. 华特气体（688268）：在光刻机领域具有领先地位。2021年第一季度，公司营收同比增长55.11%，达到2.93亿元，净利润同比增长67.99%，达到2776万元。
3. 雅克科技（002409）：光刻机行业的佼佼者。2021年第一季度，公司营收同比增长102.36%，达到8.88亿元，净利润同比增长4.73%，至1.22亿元。2019年，公司净利润为2.53亿元，同比增长90.64%。通过并购华飞电子、江苏先科、成都科美特，并设立雅克福瑞，公司整合了电子特气等半导体材料行业资源，打造了综合性半导体材料平台。
4. 大族激光：2020年6月17日，公司在互动平台透露，其研发的光刻机项目分辨率达到3-5μm，主要应用于分立器件、LED等领域，有望于当年实现小批量销售。
5. 奥普光电：公司生产的CaF2晶体材料被用于光刻机物镜上。
6. 成功精密：公司规划的光刻机工业化项目预计投资8.59亿元，建设期为2年。项目完成后，公司将具备年产光刻机成套设备10台（套）的生产能力。
7. 英唐智控：2020年10月，公司完成对日本前锋微技能的股权交割。前锋微技能的自有生产设备中包括日本产的光刻机设备，主要用于模拟芯片的制造。
以上数据仅供参考，不构成投资建议。投资者需谨慎操作，自担风险。股市有风险，投资需谨慎。此外，光刻机概念股还包括晶瑞股份、捷捷微电、容大感光、同益股份、广信材料、强力新材、飞凯材料等。
拓展资料：
1. 龙头股的条件：
- 必须从涨停板开始，涨停板是多空双方最准确的攻击信号。
- 必须具有基本面上的垄断地位。
- 流通市值适中，一般在5亿左右。
- 日KDJ、周KDJ、月KDJ同时低价金叉。
- 在大盘下跌末端，逆市涨停，提前见底或先于大盘启动，并经受大盘一轮下跌考验。
2. 识别注意事项：
- 热点切换中的识别：龙头往往在大盘下跌末端逆市涨停，提前大盘见底。
- 放量性质的识别：放量分为攻击性和补仓性两种，单日放量不足以充当龙头。
- 量价配合和均线良好是识别龙头股的关键。
- 龙头可能有两种：新龙头和调整到位后二次上涨的老龙头。
温馨提示：答案为网友推荐，仅供参考