我国芯片行业渴望突破光刻机技术瓶颈,ASML作为全球领先的供应商,其设备在这一领域扮演关键角色。ASML CFO Roger Dassen在财报会议中明确表示,某些情况下,ASML从荷兰向中国客户如中芯国际出口光刻机并不一定需要出口许可证。
Dassen强调,ASML深入理解美国当局的规章制度,并注意到这些规定与特定中国客户相关。在广泛解读法规后,ASML能够确保从荷兰向这些客户供应DUV光刻系统,无需直接出口许可,但涉及从美国直接运输零件或系统时,ASML会遵循相关程序进行申请。
值得关注的是,ASML近期在研发领域取得了重要进展。3600D是最新的光刻机系统,于2021年中期开始发货,它以每小时160片晶圆的曝光速度,实现了30mJ/cm2的曝光速率,相比之前提升了18%的生产率,并将机器的匹配套准精度提升至1.1nm,彰显了ASML在技术上的领先地位。