(1)准确度:也叫程度，即仪器测量结果接近实际值的准确度。它可以用误差或相对误差来表示:①误差=测量值-真值②相对误差=误差/真值没有一种仪器能准确测出被测参数的真实值，而只是尽量使测量值接近真实值。在实际应用中，只有准确度高的标准仪表的指示值才能作为被测参数的真实值，测量仪表的指示值与标准仪表的指示值之差就是测量误差。误差越小，测量仪器的可靠性越高。(2)再现性:指在相同的测量条件下，用同一台仪器重复测量某一参数时，各测量值与平均值之差相对于大刻度范围的百分比。这是仪器仪表稳定性的一个重要指标，一般需要在运行和日常校验时进行检查。(3)灵敏度:指仪器测量的灵敏度。通常用仪器输出的变化与引起某些变化的被测参数的变化之比来表示。(4)响应时间:当被测参数发生变化时，仪表指示的测量值要经过一段时间才能准确表示出来，这段时间与被测参数变化之间的时滞就是仪表的响应时间。有的用时间常数表示(如热电阻测温)，有的用阻尼时间表示(如电流表电阻测量)。(5)零点漂移和量程漂移:指仪器多次测量相对零点和确认的大量程后，平均变化值相对于量程的百分比。
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