青岛芯恩光刻机来源

如题所述

来源于上海微电子。上海微电子自研的封装光刻机完成交付,由青岛新核芯科技接手,这台封装光刻机的落地意义重大,对青岛发展集成电路封装、测试都有很大的帮助。虽然这台光刻机只有65nm,但用在半导体封装领域已经是绰绰有余。
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