可以使用耐热玻璃、耐热塑料、陶瓷餐具、微波保鲜膜，但不可以使用金属器皿、烧烤架、烤盘，一般的玻璃、塑料也不可以使用。
不同光波微波炉与普通微波炉最大的不同在于在炉内加装了光波发射源，使电器具有了光波加热的重要功能。而同时使用光波、微波对食物进行加热具有更加快速、节能的效果。
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普通的微波炉，内部的烧烤管普遍使用铜管或者石英管。铜管在加热以后很难冷却，容易导致烫伤；而石英管的热效不太高。
光波炉的烧烤管由石英管或者铜管换成了卤素管（即光波管），能够迅速产生高温高热，冷却速度也快，加热效率更高，而且不会烤焦，从而保证食物色泽。