白光干涉仪在进行三维表面检测时，对测量样品的几点要求：
1. 样品厚度：白光干涉仪的测量精度受到样品厚度的影响，一般要求样品厚度在几纳米至几百微米范围内，过厚或过薄的样品对测量精度都会产生较大的影响。
2. 样品透明度：白光干涉仪可测量的透明材料的折射率与样品的透光性相关，要求样品对白光具有一定的透光性，否则可能无法进行测量。
3. 样品净度：样品表面的干净程度对白光干涉仪的测量精度也有着较大的影响，必须保证样品表面干净并且不会出现划痕、斑点等对测量结果产生影响的污渍。
4. 样品几何形状：样品的几何形状也对白光干涉仪的测量精度产生一定的影响，可测量的样品形状要求比较简单，最好能够保持平整且不发生变形。
在进行白光干涉仪的样品测量时，需要依据所测量的样品特性，合理选择样品的净度、数量及厚度。同时，在实践中还需要注意避免光路干扰、保证样品的平整性等因素，以确保测量的准确性和可靠性。
三维表面检测对于表面材质的要求要看具体用哪种三维检测设备来判断。
如果是用三坐标来做三维测量，那要求表面材质较硬，不容易发生形变，否则就很难测准。另外三坐标只能测量某个关键尺寸数据，对于整体三维表面的数据很难测全。
如果是拍照式的三维扫描仪，那么要求表面材质不过于反光及不过于透明，不然效果并不好，不过也有解决方案，可以通过喷粉及贴点的方式解决表面质感的问题，从而准确测量到表面三维数据。
如果是激光三维扫描仪，那么表面材质要求比较低，基本都可以扫描出来，从而测量物体的三维数据。
三维表面检测的方式很多，但各有其优势所在，要看具体的应用和要求来决定合适的测量设备及工具。
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玻璃屏常见于日常所用的智能产品中，例如智能手机、智能手表，还有平板电脑等，为了获得更好的触屏体验，需要对玻璃屏的表面粗糙度和微观轮廓进行检测。以手机玻璃屏为例说明光学三维表面检测仪在其中的应用，选取测量区域发现了肉眼无法观测到的划痕，玻璃屏表面的粗糙度在1nm附近。
2.玻璃表面台阶检测
在透明玻璃表面所镀的一层金属膜，需要测膜层的厚度，由于其非透明的特性，薄膜测厚仪无法进行测量，而由于其膜层厚度精度在纳米级别，接触式的台阶仪和其它的非接触式光学仪器也存在测量误差较大的风险，而以光学干涉原理为基础研制成的中图仪器光学三维表面检测仪，以其亚纳米级别的测量精度，则可对该膜层厚度进行准确测量。
利用软件的自动面台阶高检测功能对重建的三维图像两台阶高进行检测，从数值可知两台阶面高度差。
2.样品尺寸不超过50*50mm就可以