无尘室的概述

Question

如题所述

Answer 1

无尘室，也可以叫做无尘车间、洁净室、净化工程、洁净厂房等等。
无尘室的通俗点，就是很干净的空间，不可能达到真正的无尘。因为灰尘、细菌，如果颗粒很小就会漂浮在空气中，对人体影响可能不大，但是对一些生产工艺影响就大了。
比如半导体行业，当微粒尺寸达到集成电路节点一半大小时就成 为了破坏性微粒，对集成电路的制造产生影响。因此半导体行业对洁净度的要求非常高。
比如新能源汽车行业，不论是磷酸铁锂，还是三元锂电池，都需要在洁净室里完成。汽车的喷涂工艺也是需要在洁净室里完成，这就是为什么维修厂、4S店永远做不到原厂漆标准的原因之一。
比如医药行业，无菌、高洁净度、温湿度恒定才能制作出合格的产品。
除了以上行业，还有很多行业都广泛使用了洁净室技术。而洁净室也是有等级划分的，目前通行有3种划分方法。
第一是美国联邦209E，美国已废除，但是中国还习惯沿用这种叫法，如十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级等。你听到这些说法，都是按照美国209E标准来的。数值越小，等级越高。
第二是最新的国际标准ISO14644-1，一般分为9个等级，1级为最高。
第三个是GMP制药行业采用的世卫组织的分级标准，用ABCD区分洁净区的级别。
这三个等级是可以互通的，国际ISO14644的class5相当于GMP的A级、B级（美国209E的百级）、class7相当于C级（万级）、class8相当于D级（十万级）。

Answer 2

无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
如表所示，每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

Answer 3

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