据说可以做到5纳米，3纳米正在研发中。
补充 ：除尼康外，ASML也是很不错的。
凭借着
台积电的“浸入式光刻技术”方案，ASML成功推出全球首台浸润式微影机，将193mm的光源波长一举缩短至132nm。而彼时尼康推出的最新光刻机，光源波长为157nm，要远远落后。
由此，ASML迅速崭露头角，成为了新的行业霸主。
美国EUVLLC联盟的相遇，更是树立了它如今无法撼动的地位。
彼时，美国能源部与
英特尔牵头，集结全球领先巨头与科技力量成立了EUVLCC。而ASML则幸运地加入了这一阵营之中，而作为美国光刻机对手的尼康、佳能则没有加入的机会。
在全球顶尖科技巨头的集体攻关下，
EUV光刻机实现了突破，ASML因此一飞冲天，彻底与尼康、佳能拉开了差距。由此，ASML确立了在EUV光刻机领域100%垄断的地位。
目前，ASML已经成为了全球供应链中最不可忽视的供应商。