三坐标测量仪几何量测量是以点的坐标位置为基础的,分为一维、二维和三维测量。基本原理是在三坐标允许的测量空间内,测出零件X Y Z三轴坐标位置数值,经过计算机数据处理后,拟合成测量元素,比如曲面、圆锥、球等,得出形状、位置公差及其他几何量数据。
三坐标测量仪是一种具有可作三个方向移动的探测器,可在三个相互垂直的导轨上移动,此探测器以接触或非接触等方式传送讯号,三个轴之位移量测系统(如光学尺)经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标(x,y,z)及各项功能量测的仪器。
其工作原理是利用光绕射所制成的量测系统俗称光学尺,其光源经过瞄准透镜而投射到游动刻度尺和主刻度尺,藉其光波产生Moire条纹明暗讯号之原理,由光电管接收其信号,经放大及修正后即可显示出来,其系统及输出信号情形。