三坐标测量仪是一种高精度的测量设备，用于测量三维物体的形状、尺寸、位置、轮廓等参数。
三坐标测量仪是一种测量长度、直径、形状误差和位置误差的空间坐标，通过XYZ三轴测量各部件和组件的点和元素。配备高精度导轨、头部测量和控制系统，并使用计算机程序自动控制测试过程，计算输出测量结果。
三坐标测量仪还可以定义一个可以移动三个方向的探测器，可以移动三个垂直导轨，探测器通过接触或非接触传输信号，三轴位移测量系统（如光栅尺）通过数据处理器或计算机计算工件点（x、y、z）和功能测量仪器。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度和轮廓精度。
性能特点
1、X向横梁：采用精密斜梁技术。
2、Y向导轨：采用独特的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构。
3、导轨方式：采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨。
4、驱动系统：采用本产高性能DC直流伺服电机、柔性同步齿形带传动装置，各轴均有限位和电子控制，传动更快捷、运动性能更佳。
5、Z向主轴：可调节的气动平衡装置，提高了Z轴的定位精度。
6、控制系统：采用进口的双计算机三座标专用控制系统。
7、机器系统：采用计算机辅助3D误差修正技术（CAA），保证系统的长期的稳定性和高精度。
8、测量软件：采用功能强大的3D-DMIS测量软件包，具有完善的测量功能和联机功能。
简单来说，三坐标测量仪是一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号，三个轴之位移量测系统（如光学尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标（x，y，z）及各项功能量测的仪器。
目前移动桥式结构是中小型三坐标测量机的主要结构，这种结构特点是开敞性好，视野开阔，上下零件方便，运动速度快，精度高。配备高精度的导轨、测头和控制系统，并结合计算机程序来自动控制检测流程，从而计算输出测量结果，支持测头更换架以及影像相机，同时支持精密转台等，能够对各种零件和部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测，也可以对软材质或复杂零件进行光学扫描测量。优点：
1.机械结构简单；
2.承载力高；
3.开敞性好，操作方便；
4.自身具有工作台；
5.外界震动对其影响相对小；
6.精度相对固定桥式稍低。
三坐标测量仪主要检测形位公差，包括：几何元素的测量：点、线、圆、面、球、弧、椭圆、圆柱、圆 锥、键 槽、曲线、曲面；几何元素的构造：投影、中分、相交、相切、镜像、拟合、平移、垂直、平行、组合、旋转、偏置线、偏置；形位公差软件：直线度、平面度、圆度、圆柱度、 圆锥度、球度、距离、夹角、垂直度、平行度、倾斜度、位置度（2D及3D）、对称度、同轴度、 同心度等。