三甲基硅烷,Trimethylsilane,tri=3,methy=m,silane=s
三甲基硅烷或三甲基硅化氢,是一种有机硅化合物,化学式为C₃H₁₀Si,结构简式(CH₃)₃SiH。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。
分子式: C3H10Si
能具体点么?
追答通过 XRD、DTA可以合成的CMS、CFS、C3MS2 水热活性及水热产物。:常温下不具有水硬性的
CMS、CFS、C3MS2 在水热条件下具有水硬性。
分离出来的,用于半导体工艺最具体我也不知道了,希望对你有帮助。
知道就不问了,O(∩_∩)O~