工业气体3MS的物理性质及中文名是什么？高手帮忙，O(∩_∩)O谢谢！！！！！！！！！！！！

Question

还有它的化学构成，英文名什么？网上收了好久没找到。

Answer 1

三甲基硅烷，Trimethylsilane，tri=3，methy=m，silane=s

三甲基硅烷或三甲基硅化氢，是一种有机硅化合物，化学式为C₃H₁₀Si，结构简式(CH₃)₃SiH。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。

分子式： C3H10Si

Answer 2

这种气体是半导体原料气体，主要用于清洗管道。读譬。追问

能具体点么？

追答

通过 XRD、DTA可以合成的CMS、CFS、C3MS2 水热活性及水热产物。:常温下不具有水硬性的
CMS、CFS、C3MS2 在水热条件下具有水硬性。
分离出来的，用于半导体工艺最具体我也不知道了，希望对你有帮助。

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Answer 3

3MS，没见过，是那种气体啊？追问

知道就不问了，O(∩_∩)O~