第1个回答 2012-04-17
3dB带宽 *信号响应时间 *位置噪音 转换速率
误差 *磁滞（峰峰值）线性度（峰值）角度偏差
NM-XY-100X是一个集成了电容传感器的微动平台。高于纳米级的分辨率与重复性对弯曲机械装置的有限分析可以在100微米的范围内降低伴生角度的移动到25微弧度以内是一个集成了电容传感器的微动平台。有高于纳米级的分辨率和重复性。
特殊钢材的外壳(CTE 0.3ppm K-1, c.f. Al at 23ppm K-1)可以将温漂降低到最小，在纳米级是非常重要的。这种外壳拥有优秀的力学平衡设计。
应用领域
◆
高精度显微镜；
推荐控制器
NM3220
主要特点
◆
>100微米运动范围，高于纳米级分辨率；
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振荡频率>350HZ；
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0.005%磁滞、线性度；
◆
高带宽(>50Hz)响应时间短；
◆
现场扫描最优化；
◆
需要与NPS-Z-15A或NPS-Z-15H组成三轴系统；
◆
NM-XY-100A为特殊钢材外壳；NM-XY-100B为铝质外壳；
推荐产品
ZNXsensor超精密电容位移传感器
ZCS1100精密电容位移传感器
参数 标志 值 单位 备注
静态参数
最小 标准 最大
材质 特种不胀钢（镀镍）
尺寸 100（长）×100（宽）×23（高） mm ①
*范围 ±50 ±55 µm
*比例因子 1 µm ②
*比例因子误差 0.1 %
静态刚度 1 N/µm
共振频率（空载） 350 Hz
共振频率（50g） 260 Hz
共振频率（1000g） 120 Hz
最大负载 1 Kg ③
动态参数
快 中 慢
3dB带宽 53 20 4 Hz ④
*信号响应时间 15 30 130 ms ⑤
*位置噪音 0.7 0.5 0.25 nm ⑥
转换速率 3 2 0.5 µm/ms ⑦
误差
最小 标准 最大
*磁滞（峰峰值） 0.005 0.01 % ⑧
*线性度（峰值） 0.01 0.02 % ⑨
角度偏差1 10 25 % ⑩
角度偏差2 5 10 urad ⑩
角度偏差3 5 10 urad ⑩
正交性误差 8 murad
100B
参数 标志 值 单位 备注
静态参数
最小 标准 最大
材质 铝（镀镍）
尺寸 100（长）×100（宽）×23（高） mm ①
*范围 ±50 ±55 µm
*比例因子 1 µm ②
*比例因子误差 0.1 %
静态刚度 1 N/µm
共振频率（空载） 450 500 Hz
共振频率（50g） 300 Hz
最大负载 1 Kg ③
动态参数
快 中 慢
3dB带宽 90 30 4 Hz ④
*信号响应时间 10 20 130 ms ⑤
*位置噪音 0.7 0.5 0.25 nm ⑥
转换速率 3 2 0.5 µm/ms ⑦
误差
最小 标准 最大
*磁滞（峰峰值） 0.005 0.01 % ⑧
*线性度（峰值） 0.01 0.02 % ⑨
角度偏差1 10 25 urad ⑩
角度偏差2 2 10 urad ⑩
角度偏差3 2 10 murad ⑩
注意：
*这些参数由各转换器实测并提供。
①、中间有一个40mm直径的孔。
②、所有的位置命令单位是每微米7个数字分辨率。
③、1Kg是Z轴最大负载的频率，X、Y轴的最大负载时0.5Kg。当负载超过5Kg时会损害设备。
④、动态参数，在不同参数下的工作情况，这个参数用户可以通过软件来设置。
“快”指的是快的情况，负载小于50g，“中”指的是在负载为200g时最大能达到的速度，
“慢”值负载为500g时最大能达到的速度。
⑤、这是2%的响应时间，这是伺服系统的闭环参数，用户可以控制，测试单位是2000nm。
⑥、实际的位置噪音。
⑦变换位置的最大速率，这受闭环参数的限制。
⑧位移的百分比，意思是位移为1µm则磁滞小于0.1nm。
⑨线性误差为满量程的百分比
⑩在运动过程中产生的角度偏移误差，这个误差在X、Y、Z轴均可能发生。